CITIC건설투자에 따르면,Shanghai Microelectronics Equipment (Group) Co., Ltd.는 국내 기업공개(IPO) 및 상장을 계획하고 있습니다., CITIC 건설 투자는 코칭 기관입니다. 공식 정보에 따르면 Shanghai Microelectronics는 2002년 3월 7일에 등록 및 설립되었습니다. 주로 반도체 장비, 범반도체 장비 및 고급 지능형 장비의 개발, 설계, 제조, 판매 및 기술 서비스에 전념하고 있습니다. 이 장비는 집적 회로 프런트 엔드, 고급 패키징, FPD 패널, MEMS, LED, PowerDevices 및 기타 제조 분야에서 널리 사용됩니다.
Shanghai Microelectronics의 리소그래피 기계 제품에는 주로 두 가지 시리즈가 포함됩니다.
그중 SSX600 시리즈 스텝 스캐닝 투영 리소그래피 기계는 4배 배율 투영 대물렌즈, 프로세스 적응형 포커싱 및 레벨링 기술, 고속 및 고정밀 자체 감쇠 6자유도 공작물 스테이지 마스크 스테이지 기술을 채택합니다. 90nm, 110nm, 280nm 임계 및 비임계 레이어의 IC 프런트 엔드 제조에 대한 리소그래피 공정 요구 사항을 충족할 수 있으며 200/300mm 라인의 대규모 산업 생산에 사용할 수 있습니다.
SSB500 시리즈 스테퍼 프로젝션 리소그래피 기계는 웨이퍼 레벨 패키징의 재배선(RDL)뿐만 아니라 FlipChip 프로세스에서 일반적으로 사용되는 금 범프, 솔더 범프 및 구리 기둥과 같은 고급 패키징 리소그래피 프로세스에도 적합합니다. 또한 옵션인 후면 정렬 모듈을 통해 MEMS 및 2.5D/3D 패키징의 TSV 리소그래피 공정 요구 사항을 충족할 수도 있습니다.
올해 9월 초에 보도된 바에 따르면Shanghai Microelectronics는 28nm 침지 리소그래피 기계의 연구 개발에서 획기적인 발전을 이루었습니다. 2023년 말까지 국내 최초로 SSA/800-10W 노광기계 장비를 시장에 출시할 예정이다.
Shanghai Microelectronics의 최대 주주는 Shanghai Electric Holding Group Co., Ltd.로 지분율이 34.9099%이고, 2대 주주는 Shanghai Technology Venture Capital Co., Ltd.로 지분율이 14.4434%입니다.
올해 9월 6일, Shanghai Microelectronics는 산업 및 상업적 변화를 겪었습니다.등록자본금은 174,359,934위안에서 266,124,100위안으로 52.6% 증가하였습니다.