Shanghai On-chip Micro-Device Technology Co., Ltd.("On-chip Micro-Device" 또는 "AMIES"라고 함)의 발표에 따르면, 이 회사는 어제 500번째 스테퍼 리소그래피 기계 납품 기념식을 거행하여 우리나라 고급 반도체 장비 산업의 새로운 수준을 열었습니다.
온칩 마이크로 어셈블리는 첨단 패키징 리소그래피 기계가 AMIES의 주력 제품이라고 밝혔습니다. 고해상도, 높은 오버레이 정확도, 초대형 노출 시야와 같은 중요한 기능을 갖추고 있습니다. 강력한 워핑 및 두꺼운 접착제 처리 기능을 갖추고 있으며 고객의 특정 프로세스 요구 사항에 따라 장비를 유연하게 구성할 수 있습니다.
이러한 유형의 제품은 Flip-chip, Fan-in, Fan-out WLP/PLP, 2.5D/3D 등과 같은 고급 패키징 기술의 요구 사항을 충족할 수 있으며 시장에서 높은 인정을 받았습니다. 현재 글로벌 시장점유율은 35%, 국내 시장점유율은 90%에 달한다.
이번에 출하된 500번째 스테퍼 리소그래피 기계는 Shenghejing Micro Semiconductor (Jiangyin) Co., Ltd.에 납품될 예정입니다. Shenghe Jingwei와 AMIES는 좋은 협력 기반을 갖추고 있습니다. Shenghe Jingwei는 AMIES와의 전략적 협력을 더욱 심화하고 첨단 포장 기술 혁신과 산업 발전을 공동으로 촉진하겠다는 의지를 표명했습니다.
데이터에 따르면 Chip-on-chip Micro-Device는 2025년 2월 8일에 설립되었습니다. 고급 반도체 장비의 연구 개발, 생산 및 서비스에 중점을 둔 혁신적인 기술 기업입니다. 이 회사는 IC 프런트 엔드 칩 제조, 웨이퍼 레벨/보드 레벨 고급 패키징, 화합물 반도체 및 새로운 디스플레이와 같은 응용 분야에 고정밀, 고성능, 고신뢰성 장비 및 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.
스테퍼 리소그래피 기계(공작물 테이블, 마스크 테이블, 포커싱 및 레벨링 시스템의 세 부분으로 구성)란 정확히 무엇입니까? 실제로 집적회로 제조에 있어서 고정밀 투영노광장치(필수 핵심장비)로서 스테퍼 리소그래피 기술을 통해 고해상도의 패턴전사를 구현하는 반도체 제조장비이다. 핵심 기능은 필드별로 마스크 패턴을 웨이퍼 표면에 투영하는 것입니다.
스테퍼 노광기의 광학계는 그 기술의 핵심으로서 조명계, 투영 대물렌즈, 마스크 등 여러 핵심 부품을 포괄합니다. 광학 시스템에는 조명, 투영 대물렌즈 및 레티클이 포함되어 있어 리소그래피 기계의 고해상도와 성능을 지원합니다.
