하워드 루트닉 미국 상무장관은 최근 일련의 회의에서 네덜란드 리소그래피 대기업 ASML 경영진을 상대로 극자외선(EUV) 리소그래피 장비가 중국으로 유입될 수 있다고 우려를 표명했습니다. 만약 사실이라면 현행 수출통제제도에 대한 중대한 위반이 된다. ASML은 자사가 중국에 EUV 시스템을 납품한 적이 없으며, 미국 상무부는 소위 말하는 증거를 언론이나 ASML에 공개적으로 제시하지 않았다며 이를 단호히 부인했습니다.

블룸버그통신에 따르면 미국 정부 관계자들은 ASML이 EUV 관련 부품과 운송장비를 중국에 수출했다는 증거를 가지고 있다고 주장했다. 그러나 여러 차례 문의해도 구체적인 자재를 생산하지 않았고, 완성된 기계가 실제로 중국에 상륙했는지 여부에 대해서도 설명하지 않았습니다. ASML은 회사 역사상 생산된 EUV 리소그래피 기계가 모두 엄격하게 추적되고 있으며 고객의 손에서 작동하고 상태를 모니터링할 수 있거나 ASML 내에서 분해 및 재활용되었음을 분명히 밝혔습니다.

네덜란드에 본사를 둔 ASML은 일반 대중에게는 잘 알려지지 않을 수 있지만, 글로벌 AI 컴퓨팅 인프라 구축에 있어서는 엔비디아와 미국의 몇몇 초대형 클라우드 벤더 다음으로 중요한 기업 중 하나입니다. 현재 ASML은 EUV 노광기를 생산할 수 있는 세계 유일의 회사입니다. 이 장비는 실리콘 웨이퍼에 가장 진보된 칩 회로를 조각할 수 있어 TSMC가 Nvidia, Apple과 같은 기업을 위한 최첨단 프로세서를 대량 생산할 수 있게 해줍니다. ASML이 유럽에서 가장 가치 있는 상장 기업 중 하나가 된 것은 바로 이러한 기술 독점 때문입니다. 최근 시장 가치는 약 7000억 달러에 달했습니다. 지난해 AI 칩 수요에 힘입어 가파른 상승세를 보였다.

이 때문에 'EUV의 중국 진출 여부'가 특히 민감하다. EUV 시스템 하나라도 중국에 유입된다면 이는 최근 미국이 구축한 고급 칩과 AI 컴퓨팅 파워 수출통제 시스템의 가장 심각한 허점 중 하나로 간주돼 중국의 군사 및 첨단산업 기반 업그레이드를 제한하려는 미국의 시도의 핵심에 직접적으로 영향을 미치게 된다. 미국은 트럼프 대통령의 첫 임기 초 ASML의 EUV 중국 수출 허가를 거부하라고 네덜란드 정부에 압력을 가했다. 이후 중국 시장은 이러한 기술 세대의 문턱에서 차단됐다.

ASML CEO 크리스토프 푸케(Christophe Fouquet)는 6주 전 인터뷰에서 '중국 문제'에 정면으로 답했다. 그는 회사가 모든 공장 ​​장비에 대한 완벽한 추적 시스템을 구축했다고 말했습니다. 각 EUV는 승인된 고객의 생산 라인에서 모니터링 가능한 상태로 실행되거나 ASML로 반환되어 분해되었습니다. 또한 ASML은 EUV 기술에 노출되는 직원을 위해 내부적으로 '방화벽' 시스템을 구현했습니다. EUV 기술, 문서 및 교육 자료에 접근할 수 있는 직원은 관련 정보에 접근할 수 없는 직원과 완전히 격리되는 반면, 중국 팀은 핵심 기술 세부정보에 노출되지 않도록 의도적으로 '방화벽' 반대편에 배치됩니다.

Furich는 또한 ASML이 EUV 노광기를 구축할 수 있었던 이유는 회사가 수십 년 동안 축적한 기술에 기반을 두고 있다고 강조했습니다. 전체 기계 기술의 약 80%는 과거 경험에서 파생됩니다. 정말로 새로운 어려움은 EUV 광원을 생성하는 방법이며, 이 문제만 극복하는 데 약 20년이 걸렸습니다. 그의 견해로는 전체 기계와 개인적으로 접촉하지 않고 외부 관찰이나 분산된 정보에만 의존하지 않고 완전한 EUV 시스템을 리버스 엔지니어링하는 것은 어렵다고 합니다. 이는 “중국은 남의 것을 훔쳐서 EUV를 만들 수 없다”는 그의 주장의 핵심 논리 중 하나이기도 하다.

ASML은 기술 및 안전 고려 사항 외에도 상업적 이익을 바탕으로 중국에 EUV를 비밀리에 제공하려는 동기도 부인했습니다. 이 회사는 여전히 이전 세대의 심자외선(DUV) 리소그래피 기계를 중국에 판매하는 것이 허용됩니다. 이러한 장비는 10여년 전에 처음 배송되기 시작했으며 여전히 중국 ASML 사업의 중요한 부분을 차지하고 있습니다. Furich에 따르면 회사는 의도적으로 세대 간 격차를 유지합니다. 한두 세대 뒤처진 도구를 판매함으로써 중국 고객은 여전히 ​​해야 할 일이 있지만 세계 최고 수준을 따라잡기는 어렵습니다. 따라서 수익을 유지하는 동시에 미래 경쟁자를 양성하는 위험을 줄입니다. ASML은 2026년 매출의 약 20%가 현재 허용된 중국 판매에서 나올 것으로 예측하고 있습니다. 단일 불법 거래에 대해 EUV 수출 금지를 위반할 위험이 있다면 이 수익을 위태롭게 할 뿐만 아니라 '유럽에서 가장 수익성이 높은 독점 기업' 중 하나라는 지위도 흔들릴 수 있습니다.

그러나 ASML의 성명은 미국 정부가 아직 소위 증거를 공개하지 않았기 때문에 미국 정부의 의혹이 틀렸다는 것을 직접적으로 증명할 수는 없습니다. 증거가 공개되기 전에는 외부 세계가 최종 판단을 내리기 어렵고, 모든 당사자가 정치적, 상업적 해석의 여지를 남겨둔다.

Lutnick이 이끄는 미국 상무부는 작년 말 차세대 광원 기술 개발을 지원하기 위해 xLight라는 신생 기업에 정부 자금으로 최대 1억 5천만 달러를 제공하기로 합의했다는 점은 주목할 가치가 있습니다. 일반적으로 이 기술은 EUV 광원에 대한 ASML의 독점에 이론적으로 근본적으로 도전할 수 있다고 믿어집니다. 그러나 xLight의 CEO는 이전 인터뷰에서 회사가 직접적인 경쟁자보다는 ASML의 미래 파트너로 자리매김하는 것을 선호한다고 밝혔습니다. ASML을 완전히 대체하는 완전한 기계 솔루션이 아니라 ASML 리소그래피 기계에 내장할 수 있는 광원 모듈을 만드는 것이 목표입니다.

기자가 이 "파트너" 입장을 푸리히에게 전달했을 때 푸리히는 예의를 갖추었지만 완전히 동의하지는 않았습니다. 그의 견해에 따르면 ASML은 업계에서 앞서기 위해 xLight의 기술에 의존할 필요는 없다고 생각합니다. 회사는 자체 기술 경로의 연속성과 장점에 대해 충분히 확신하고 있습니다. 이는 또한 외부 추측으로 이어졌습니다. 미국 정부가 "규제자"이자 투자를 통한 신기술의 잠재적 수혜자라는 맥락에서 ASML에 대한 정부의 검토가 산업 배치 및 관심 고려 사항에 의해 영향을 받을지 여부입니다.

xLight 외에도 Peter Thiel은 EUV 대체 기술의 돌파구를 마련하기 위해 Substrate라는 스타트업에도 투자했습니다. xLight가 'ASML 파트너'로 포지셔닝한 것과는 달리 Substrate는 ASML 기술과 직접적으로 경쟁할 수 있는 솔루션 개발을 분명히 제안하고 있으며 EUV의 잠재적 대안 중 하나가 되는 것이 목표입니다.

지정학적 긴장을 배경으로 미 의회에서도 초당적 법안이 추진되고 있는데, 그 범위는 EUV를 훨씬 뛰어넘는다. 이 법안의 목표는 ASML의 모든 DUV 모델의 중국 수출을 효과적으로 전면 금지하는 것을 포함하여 중국에 대한 고급 제조 도구 수출을 더 큰 규모로 강화하는 것입니다. 이러한 하위 세대 장비는 현재 ASML의 2026년 예상 매출의 약 1/5을 기여하고 있습니다. 이 법안은 지난 4월 주요 위원회를 통과했지만 트럼프 행정부는 아직 그 입장에 대한 공식적인 성명을 내지 않았습니다.

미국이 계속해서 수출 통제를 강화하고 잠재적인 "차세대 리소그래피 기술" 기업을 내부적으로 지원하는 동안 ASML은 여러 세력이 교차하는 중심에 있습니다. 한편으로 ASML은 글로벌 고급 칩 및 AI 산업을 위한 대체할 수 없는 인프라 공급업체이며 수출 로드맵을 조정하면 전체 공급망에 영향을 미칩니다. 반면에 미국 정부의 조사와 압력의 대상이며 비즈니스 이익, 동맹 관계 및 중국에 대한 제한 사이에서 미묘한 균형을 찾아야 합니다. 소문난 '중국의 EUV 노광기'가 실제로 존재하는지 여부에 대해서는 미국 정부가 좀 더 구체적인 증거를 제시하고 외부 조사를 받아들일 의지가 있는지 지켜볼 수밖에 없다.