최근 칭화대학교가 EUV 노광기 프로젝트를 돌파해 거대한 노광기를 달성했다는 소식이 인터넷에 널리 보도됐다. 아래 그림과 같이 Xiongan New Area에도 공장이 설립되었습니다. 이것이 정말로 국내 노광 기계 공장입니까? 아니요, China Electronics Institute는 자세한 설명을 제공했습니다. 이것은 베이징 고에너지 싱크로트론 방사선원 프로젝트(HEPS)입니다!

HEPS는 베이징 화이러우(Huairou)의 옌치호(Yanqi Lake) 기슭에 위치하고 있습니다. 이는 국가의 '13차 5개년 계획'을 위한 주요 과학기술 인프라입니다.

우리나라 최초의 고에너지 방사광 광원이자 세계에서 가장 밝은 4세대 방사광 광원 중 하나입니다. 이르면 2019년 착공해 2025년 말 입주할 예정이다.

△베이징 고에너지 싱크로트론 방사선 광원 프로젝트 실제 사진

HEPS의 기능은 전자빔을 가속기를 통해 6GeV까지 가속한 후 둘레 1,360m의 저장링에 주입해 광속에 가까운 속도로 계속 달리게 하는 것이다.

전자빔이 저장 링의 여러 위치에 있는 굽은 자석이나 다양한 인서트를 통과할 때 편향 트랙의 접선 방향을 따라 싱크로트론 방사선인 안정적이고 에너지가 높으며 밝기가 높은 빛을 방출합니다.

간단히 말해서,HEPS는 초정밀, 초고속, 강력한 투과력을 갖춘 거대 엑스레이 장비라고 할 수 있다.

그것이 생성하는 작은 광선은 물질을 투과하고 내부 깊은 곳에서 3차원 스캐닝을 수행하며 분자와 원자 규모에서 다차원의 미시 세계를 관찰할 수 있습니다.

HEPS는 온라인 사진 평판 기계 공장이 아닌 과학 실험을 수행하기 위한 대규모 과학 장치입니다.

이 프로젝트는 SDIC의 국가 조사 및 설계 마스터이자 수석 과학자인 Lou Yu가 주도하며 China Electronics Institute의 여러 기술 연구 및 설계 팀과 협력합니다.

프로젝트 타당성 조사 수립부터 프로젝트 구현까지 China Electronics Institute는 여러 가지 기술 및 프로세스 어려움을 극복하고 해결했습니다.이 프로젝트에는 불균일 침하, 미세 진동 제어, 초장 구조 설계, 태양광 패널 설계, 정밀 온도 제어, 공정 순환 냉각수 시스템, 초복잡 공정 시스템 등 7가지 주요 기술 문제가 있습니다., 중대한 기술 혁신을 달성했으며 지표 제어가 국제 선진 수준에 도달했습니다.

현재 고에너지 싱크로트론 방사선 광원 지원 프로젝트가 완전히 완료되어 세계에서 '가장 밝은' 빛을 생산하는 데 한 걸음 더 다가섰습니다.

HEPS가 사진 노광 공장은 아니지만, 셀프 미디어 플랫폼에서 사진 노광 공장에 대한 정보가 인기를 끄는 이유는 결국 '목 막힘' 문제를 해결하겠다는 대중의 기대 때문이다.

중국전자연구원(China Electronics Institute)도 '중국의 핵심'을 지원하기 위한 노력을 계속하고 있습니다. 설립 초기부터 중국의 "핵심"의 시작을 시작했습니다.

최근 몇 년 동안 중국 전자 연구소는 반도체 산업에 깊이 관여해 왔으며 국내 메모리 칩 프로젝트의 50% 이상을 수행하여 전자 정보 분야에서 국가의 기술 자립에 중요한 공헌을 했습니다.

중국 전자 연구소(China Electronics Institute)는 핵심 알고리즘과 디지털 기술을 독립적으로 개발했으며 "첨단 전자 제조 디지털 트윈 팩토리 솔루션 버전 1.0"을 출시했습니다., "친환경, 저탄소, 린 및 효율적인" 생산 및 제조 목표를 달성하기 위해 최선을 다하고 있습니다.

국립 메모리 베이스(National Memory Base): 중국 현지 기업이 주도하는 유일한 12인치 3D 플래시 메모리 생산 라인 프로젝트

SMIC Capital: 중국 최대 12인치 집적 회로 첨단 공정 생산 라인 프로젝트

광저우 웨신(Guangzhou Yuexin): 대량 생산에 성공한 광둥성 최초의 12인치 집적 회로 칩 제조 공장

Fujian Jinhua: 현지 기업이 구축하고 운영하는 최초의 12인치 DRAM 칩 생산 라인

허페이 징허(Hefei Jinghe): 중국 최초의 EPC 모드로 새로 건설된 12인치 공장


Innosec: 세계 최고의 8인치 실리콘 기반 질화갈륨 칩 생산 라인

Xiamen Silan Micro: 중국 최초의 12인치 특수 프로세스 IDM 칩 제조업체

Xi'an Yisiwei: 중국 최대 12인치 실리콘 웨이퍼 생산 라인

Xiamen Tongfu Microelectronics: 세계적 수준의 친환경 벤치마크 집적 회로 패키징 및 테스트 기반

Texas Instruments(청두): 세계 최고의 아날로그 칩 회사의 고급 패키징 프로젝트