Canon 경영진은 인터뷰에서 이렇게 말했습니다.나노임프린트 기술은 회로 선폭이 2나노미터에 달하는 제품까지 생산할 수 있는데, 이 사업은 전 세계적으로 캐논만이 할 수 있는 사업이다.캐논 반도체 기계사업부 이와모토 카즈노리 매니저는 나노임프린팅이란 반도체 회로도가 새겨진 마스크를 웨이퍼에 각인하는 방식으로 단 한 번의 각인만으로 회로를 형성할 수 있다고 말했다.마스크를 개선하면 회로선이 2나노미터에 달하는 제품도 생산 가능하다.
고객이 부담해야 하는 실제 비용은 기존 포토리소그래피 장비에 비해 절반으로 줄일 수 있고, 나노임프린트 장비의 규모도 줄어들기 때문에 연구개발 등의 목적으로 도입하기도 쉽다.
나노임프린트 노광 장비 경쟁업체가 또 있느냐는 질문에 이와모토 카즈키 씨는 반도체 노광 장비에 대해 이렇게 말했다.우리 회사는 세계에서 유일하게 나노임프린트 장비 사업을 하고 있으며, 진입 문턱이 매우 높습니다.
캐논은 2017년경부터 키옥시아(Kioxia), 다이니폰 프린팅(Dainippon Printing) 3개사와 지속적으로 협력해 왔다.현재 대량생산의 실용화는 이미 눈앞에 다가왔습니다., 고객에게 판매 될 수 있다고 생각합니다. "
동시에 캐논은 반도체 제조사, 대학, 연구기관으로부터 많은 문의를 받았다고도 밝혔다. "EUV 노광 장비 도입에 드는 막대한 비용으로 인해 대안으로 나노임프린트 장비가 큰 기대를 받고 있습니다."