삼성전자가 반도체 공정 제어 및 관리를 위한 '스마트 센서 시스템'을 자체 개발하고 있다. 이번 신기술은 반도체 수율 향상과 생산성 증대를 가져올 것으로 기대된다. 전자뉴스에 따르면 삼성전자는 향후 자율주행과 인공지능 반도체 제조공정에 활용될 것으로 예상되는 스마트 센서 시스템에 대한 내부 연구개발에 착수했다. 이 프로젝트는 관련 파트너 및 학계와 협력하여 진행 중인 것으로 이해됩니다.

플라즈마 조건을 정확하게 측정하고 관리하는 것은 반도체 생산 공정에서 중요한 작업 중 하나로 간주됩니다. 반도체 제조 공정에서 플라즈마의 균일성과 밀도를 정확하게 제어해야만 반도체 수율을 향상시키고 수율을 보장할 수 있기 때문입니다.

'스마트 센서 시스템'은 웨이퍼 플라즈마 균일성을 측정하고, 식각, 증착, 세정 등의 공정 성능을 정확하게 측정 및 관리할 수 있으며,생산능력이 증대될 것으로 예상된다.

회사기존 웨이퍼 스마트 센서는 대부분 외국 제조사에서 구매하는데 비용이 많이 든다. 그리고 최근에는 생산량 증대와 생산성 증대에 대한 요구가 급증함에 따라삼성은 외국 센서에 대한 의존도를 줄이기 위해 자체 연구 개발로 전환하기로 결정했습니다.

또 삼성전자가 개발 중인 스마트 센서는 초소형이라 기존 장비 공간에 큰 영향을 미치지 않을 것으로 알려졌다. 이는 또한공간 활용도를 높일 수 있습니다.

삼성전자도 그럴 계획이다.스마트 센서의 개발 및 적용 범위를 점차 확대합니다. 플라즈마에 국한되지 않고 다양한 반도체 공정에 활용 가능한 스마트 센서와 시스템을 개발하는 것이 목표다.

위의 움직임은 삼성이 지능형 반도체 생산 시스템을 구축하려는 시도이다.아마도 “인공지능 팹”이 결국 실현될 수도 있을 것입니다.